CMP抛光液是化学机械平坦技术（Chemical Mechanical Polishing）的重要耗材（CMP抛光材料包括抛光液、抛光垫、调节器、清洁剂），是由研磨颗粒与化学添加剂（包括PH值调节剂、氧化剂、分散剂、表面活性剂、增稠剂）混合而成的乳白色悬浊液体。